电子级磷酸
用途：广泛应用于超大规模集成电路, 薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。
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电子级磷酸
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电子级磷酸
工业级磷酸
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电子级磷酸
性状：无色、无臭，粘稠状液体，溶于水及乙醇。
用途：广泛应用于超大规模集成电路, 薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻。
包装：330KG大圆桶、IBC桶、ISO TANK.
电子级磷酸技术指标：
|
分析项目Analyze project |
标准standard |
分析项目Analyze projec |
标准standard |
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色度（黑曾） |
≤10 |
铜Cu |
<500ppb |
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磷酸（H3PO4) |
85.0~85.5% |
铁Fe |
≤500ppb |
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易氧化物（H3PO3） |
<80.0ppm |
钾k |
≤500ppb |
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硫酸盐（SO4） |
<10.0ppm |
锂Li |
≤500ppb |
|
氯化物（Cl） |
<1.0ppm |
镁Mg |
≤500ppb |
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重金属（Pb） |
≤4.0ppm |
锰Mn |
<500ppb |
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比重（20℃） |
1.691-1.710 |
钠Na |
≤500ppb |
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铝Al |
≤500ppb |
镍Ni |
<500ppb |
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砷AS |
≤500ppb |
铅Pb |
≤500ppb |
|
钙Ca |
≤500ppb |
锌Zn |
≤500ppb |
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镉Cd |
<500ppb |
锶Sr |
≤500ppb |
|
钴Co |
≤500ppb |
锑Sb |
≤3000ppb |
|
铬Cr |
≤500ppb |
铋Bi |
≤500ppb |
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华宁县辉煌化工实业有限公司
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